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2D-/3D-Laserscan-Farbmikroskop

Zerstörungsfreie Materialprüfung

17.09.2012
Zerstörungsfreie Materialprüfung
Zerstörungsfreie Materialprüfung
Die 2D-/3D-Laserscan-Farbmikroskope von Keyence kombinieren den Komfort eines optischen Mikroskops mit den Analysefunktionen eines Oberflächen-/Rauheitsmessgeräts und der Qualität von den Aufnahmen eines Rasterelektronenmikroskops. Das Modell VK-X200 bietet eine Auflösung von 0,0005 µm, also 0,5 Nanometer, und Vergrößerungen bis 24.000 x. Das Modell VK-X100 hat eine Messauflösung von 0,005 µm und erlaubt Vergrößerungen bis 16.000 x. Damit lassen sich Metallgefüge und Werkstofffehler wie Poren, Mikrolunker, Gasblasen, Risse und Seigerungen ebenso analysieren wie Feinstpartikelmessungen (Nanotechnologie) vornehmen oder Halbleiterstrukturen visualisieren. Das Objekt wird einfach auf den Objekttisch gelegt, der Startknopf gedrückt, und schon steht das Ergebnis bereit. Die Objekte müssen nicht erst bedampft, zerschnitten oder in anderer Weise vorbereitet werden.

Die räumliche Darstellung mit großer Tiefenschärfe ist vergleichbar mit der mittels REM, da ein kurzwelliger, violetter Laserstrahl eingesetzt wird. Die hochauflösenden Bilder in Echtfarben sind mit denen eines herkömmlichen optischen Mikroskops vergleichbar, während die Messgenauigkeit dank der maximalen Auflösung von 0,0005 µm selbst hochempfindliche Oberflächen-/Rauheitsmessgeräte übertrifft. Zudem findet eine berührungslose 2D-/3D-Messung statt, sodass das zu messende Objekt nicht beeinträchtigt wird. Die VK-Mikroskope ermöglichen 2D- und 3D-Messungen wie Profilmessungen, Vergleichsmessungen zwischen Querschnittsprofilen, die schon erwähnten Rauheitsmessungen, 3D-Messungen, Oberflächentextur-Messungen und andere.

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