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Positioniersystem mit hoher Langzeitstabilität

Bauteile und Proben präzise mit sechs Freiheitsgraden ausrichten

Bauteile müssen in der Halbleiterindustrie oder in Photonik-Anwendungen oft für einzelne Bearbeitungsschritte präzise positioniert und dann stabil und zuverlässig an Ort und Stelle gehalten werden. Ähnliches gilt z. B. auch für Proben bei Röntgenuntersuchungen. Für solche und ähnliche Anwendungen bietet Physik Instrumente (PI) mit dem SpaceFab Q-845 jetzt eine praxisgerechte Lösung:

Das hochgenaue parallelkinematische Positioniersystem kann Lasten bis 1 kg in sechs Freiheitsgraden nicht nur mit Nanometergenauigkeit positionieren, sondern auch langzeitstabil in Position halten. Die Basis bilden sechs Lineartische, die in drei, jeweils um 90 Grad versetzten Zweierstapeln angeordnet sind und auf eine bewegliche Plattform wirken. Dabei werden in X- und Y-Richtung maximale Stellwege von ±7 mm und in Z-Richtung ±5 mm erreicht. Die Rotationsbereiche der drei Drehachsen liegen bei maximal ±7° (in 0x, 0y) bzw. ± 8 Grad (in 0z). Treibende Kraft der Lineartische sind piezoelektrische Trägheitsantriebe. Durch ihre Selbsthemmung im Ruhezustand wird beim Halten der erreichten Position keine Energie verbraucht und es entsteht keine Abwärme. Dadurch bietet sich das Positioniersystem auch für Anwendungen im Vakuum an (vakuumkompatibel bis 10-6 hPa).

Montage in beliebiger Raumanordnung

Die Montage des langzeitstabilen Positioniersystems ist in beliebiger Raumanordnung möglich. Die Qualität der vorgespannten kardanischen und linearen Lager ermöglicht die gleiche Performance in „Über-Kopf“ oder „Seitlich-Hängend“ Anwendungen. Die Konstruktion lässt sich an den jeweiligen Lastfall anpassen, aber auch andere Kundenwünsche sind innerhalb kurzer Zeit realisierbar. Für die Ansteuerung empfiehlt sich der Multiachs-Controller C-886, der eine einfache Systemintegration und mit Hilfe der Software PIMikroMove eine bedienerfreundliche Ansteuerung ermöglicht. Zur Integration in externe Applikationen wie Matlab, LabView etc. gibt es entsprechende Softwaremodule. Mit dem Controller lassen sich bei Bedarf über Erweiterungskarten noch Antriebe für zwei zusätzliche Achsen ansteuern.

www.pi.de


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