Der LBA-Differenzdrucksensor von Sensortechnics basiert auf der thermischen Massendurchflussmessung von Gas durch einen sehr kleinen, im Sensorchip integrierten Strömungskanal. Die Sensoren eignen sich vor allem zur Durchflussbestimmung nach dem Wirkdruckverfahren, bei dem der Druckabfall über einem Strömungselement gemessen wird. Beatmungs- und Atemtherapiegeräte müssen kleinste Strömungen um den Nullpunkt des Atemflusses sicher erkennen und zusätzlich Durchflüsse von mehreren Hundert l/min messen. Für diese Anforderungen stehen spezielle Versionen der LBA-Drucksensoren mit Auflösungen von 0,01 Prozent im unteren Druckbereich und dynamischen Messbereichen größer 10 000 zur Verfügung. Die Sensoren basieren auf einem neuartigen MEMS-Aufbau, bei dem der Strömungskanal und eine analoge CMOS-Signalaufbereitung auf einem Siliziumchip integriert sind.



Der enge Kanal verringert die Strömung durch den Sensor um mehrere Größenordnungen im Vergleich zu herkömmlichen durchflussbasierten Drucksensoren. Die Differenzdrucksensoren sind daher sehr unempfindlich gegenüber Feuchtigkeit und Staub und erlauben den Einsatz von langen Verbindungsschläuchen und Filtern, ohne dass das Sensorausgangssignal beeinflusst wird. Außerdem entfallen aufwändige Gehäusekonstruktionen, wodurch die LBA-Sensoren klein und kostengünstig gebaut sind und einfach auf Leiterplatten montiert werden können. Die Sensoren mit einer Auflösung von 0,01 Prozent eignen sich zur Differenzdruckmessung in Beatmungsgeräten, Spirometern sowie Schlafdiagnose- und Atemtherapiegeräten.