Antriebselemente aus piezoelektrischen Materialien

Abstract
Im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung in der Prozess- und Medizintechnik steigen die Anforderungen an die Komponenten ständig. Das trifft besonders dann zu, wenn kleine Volumina mit hoher Präzision dosiert werden, aber auch bei Aerosolanwendungen oder bei der Herstellung von Microarrays oder Biochips. Piezobasierte Antriebslösungen bieten hierfür gute Voraussetzungen.

Piezoantriebe erzeugen Linearbewegungen sehr präzise und direkt und haben sich bereits in vielen vergleichbaren Anwendungen bewährt. Zugleich lassen sie sich gut an die jeweilige Applikationsumgebung anpas-sen. Da sie bei kleinem Bauraum hohe Effizienz bieten, können auch Antriebe für mobile Geräte oder die Lab-on-a-Chip-Technik realisiert werden.

Im Folgenden werden beispielhaft verschiedene piezo-basierte Antriebslösungen für Dosieranwendungen dargestellt:

• Mikromembranpumpen
• Mikrodosierventile
• Schlauchpumpen
• PipeJet Dispenser
• Aerosolerzeugung
• Air-Bubble-Detektoren für die Flussüberwachung